Передовая инженерная школа СВЧ-электроники Российского технологического университета МИРЭА разрабатывает технологию обработки алмазов для электроники. Ученые исследуют обработку алмазных пластин. Технология открывает новые возможности для создания сверхточных микроволновых устройств и высокотехнологичной электроники.
Алмаз — не только драгоценный камень, но и уникальный материал для электроники. Его исключительная теплопроводность и устойчивость к высоким температурам делают его идеальным для СВЧ-техники и твердотельной электроники. Однако обработка алмазных поверхностей всегда была сложной задачей.
Ученые РТУ МИРЭА разработали инновационные методы термохимической обработки (ТХО) алмазных пластин, которые позволяют с высокой скоростью и точностью придавать поверхности нужные свойства. Технология работает как в вакууме, так и в водородной среде, что значительно расширяет ее применение.
«Наша разработка позволит создавать более эффективные и миниатюрные электронные компоненты для связи, радиолокации и медицинской техники, — отметил Андрей Алтухов, заведующий лабораторией «Алмазная СВЧ-электроника» РТУ МИРЭА. — Это шаг к новому поколению устройств, где важны скорость, надежность и энергоэффективность».
Преимущества технологии заключаются в высокой скорости обработки, точности, позволяющей создавать прецизионные структуры, универсальности, обеспечивающей применимость как для монокристаллических, так и для поликристаллических алмазов
Сейчас технология проходит апробацию, а специалисты РТУ МИРЭА готовят предложения для запуска опытно-конструкторских работ. В перспективе — создание опытной установки для термохимической обработки, которая может стать основой для промышленного внедрения.
Технология разработана в рамках программы Минобрнауки России «Приоритет-2030» (нацпроект «Молодежь и дети»).
